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Praktikum Halbleitertechnologie (MIPL_EXT)

  • Die Qualitätsansprüche an die Fertigung im Reinraum sind enorm und unterliegen stetigen Veränderungen. Mit diesem Praktikum sammeln Sie als Teilnehmende wichtige Erfahrungen in der Fertigung von Wafern und den dabei angewendeten chemischen und physikalischen Verfahren. Die Ermittlung von Prozessparametern und die Herstellung eines strukturierten Oxidwafers bilden dabei Schwerpunktthemen.

Objectives

  • In der Halbleitertechnologie sind Praktika im Mikrotechnologenlabor eine Notwendigkeit um die komplexen Prozessschritte zu verstehen und Fehler zu analysieren.
Type Classroom Training with Digital Interfaces
Duration 1 day
Language de

Target Group

  • Fertigungsmitarbeitende in der Waferherstellung oder vergleichbaren Aufgaben der Mikrosystemtechnik

Content

  • EHS-Unterweisung im Mikrotechnologenlabor
  • Vorversuche zur Ermittlung der Prozessparameter
  • (Belackungsreihe; Belichtungsreihe; Ätzratenbestimmung)
  • Herstellung eines strukturierten Oxidwafers
  • Auswertung der Ergebnisse
  • Feedback und Zusammenfassung der Erkenntnisse

Prerequisites

  • Interesse an Hightec- Fertigungsprozessen der Halbleitertechnologie

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